- HOLO / OR内部开发的IP。
- 易于对准和安装–模块已预先对准并密封。
- 光刻生产工艺实现的极高精度的光束质量转换。
- 完全透射(无反射)的同轴系统。
- 无像差。
- 内部不聚焦。
- 在193nm至1940nm深紫外到远红外的宽光谱范围内可用。
- 由高质量的紫外熔融石英制成,在所有表面上均具有大功率增透膜。
参数:
*每个系统一个波长,最大光谱宽度为输入波长的2%。
工作原理
输出形状由等距离分隔的部分组成,其中一个轴(快轴)为近单模,第二个轴(慢轴)为多模。 可以将这些分离的低M2部分重新塑形并聚焦到具有良好均一性的细衍射极限线。适合材料加工的应用要求。
M2转换模块模拟
以下是M2转换模块性能的模拟结果。上面的两个图显示了波长343nm,直径的6mm,发散角0.08度的圆形多模激光源的强度和发散度。通过使用我们的M2 计算器,那些计算出的光束参数等效于M方因子为20。
下图显示了M2 转换模块出口处的强度和发散度。在M2较小的轴上,光束的大小为0.65 mm,发散度为0.094度。计算出的M2为2.4。
精益线形(TM)
LeanLine TM 是HOLO / OR的创新解决方案,用于将圆形输入光束转换为窄激光线,可用于各种大功率应用,尤其是在紫外和绿色波长(343、355和532 nm)的情况下。
HOLO /OR提供了一个强大的2模块系统,该系统可以将低相干的圆形输入光转换为用户确定长度(100mm-750mm)的窄线。
我们的解决方案基于专有的衍射光束整形概念,可以针对从193nm深紫外到1940nm 红外激光器的任何波长进行定制。
通过使用该解决方案,您可以使用低功率,低成本的激光器在细线中实现相同的功率密度;提供很大程度的节余。
激光532nm,线64mm x 28um
激光355nm,线100mm x 11um
激光线轮廓
- 易于对准和安装。
- 通过光刻生产工艺实现极高精度的光束质量转换。
- 完全透射(无反射)的同轴系统。
- 无像差。
- 可以轻松调整以产生不同的线长和线宽。
- 没有内部聚焦。
- 可提供从深紫外到近红外的宽光谱范围。
该解决方案包括两个模块:
- 第一个模块是M 2转换模块。它用于光束质量转换和细线光束整形。
- 第二个模块用于控制线长和在窄轴上聚焦。
应用:
- 激光剥离工艺和脱胶。
- 激光退火。
- 激光焊接。
- 薄膜太阳能电池生产。
- 激光直接干涉图案(DLIP)。
- OLED显示器。
材料:
处理各种材料,包括:
- 硅
- 玻璃上的硅。
- 聚合物。
- 玻璃上的ITO。
典型规格:
Wavelength 波长: | 343,355, 532 [nm] |
Input M2 输入M2: | 12-25 |
Line length 线长: | On demand 按需求调整 |
Line uniformity 线均匀度: | <5% |
Line thickness FWHM 半高全宽: | < 20 [um] |
Efficiency 效率: | > 75 % |
Working distance 工作距离: | 125 [mm] |
Energy density at sample 样品的能量: | Laser power dependent 取决于激光功率 |
Dimensions 尺寸图: | TBD 待定 |
Full System length 系统的完整长度: | TBD 待定 |