介绍
DOE广泛应用于许多半导体应用中,主要的波长为紫外和可见光波长。我们的高级UV熔融石英DOE为半导体行业中常见的直写光刻应用和晶圆计量应用提供了无与伦比的性能稳定性。在这些精确的应用中,由于几乎绝对的角度精度,出色的热稳定性和较高的激光损伤阈值,我们的DOE可提供卓越的性能
有关更多信息,请联系 [email protected]。
直接激光光刻
半导体行业中的许多应用都需要多条线的高吞吐量直接激光写入。 这些包括平板显示器掩模写入,太阳能电池板电极写入和其他多线曝光工艺。 对于这些应用,我们的高质量
分束器DOE提供无与伦比的精度和均匀性,消除了线宽变化并提高了通量。
相关产品: 1D分束器