下载PDF 内容 介绍 工作原理 典型设置 选择合适的镜头 设计注意事项和限制 公差范围 文章 光束采样器标准产品 介绍 衍射光束采样器用于监视高功率激光器,在该激光器中,必须将透射光束的光损耗和波阵面畸变保持在最低水平。在大多数应用中,大多数入射光必须以“零级”保持前进,并“不受影响”,同时将少量光束衍射为更高阶,以提供光束的“样本”。通过将采样的光以较高的阶次引导到检测器上,不仅可以实时监视激光束的功率水平,还可以监视其轮廓。 工作原理 操作原理非常简单。入射光束为准直的输入光束,输出光束以一定的分离角从衍射光学元件(DOE)射出,该分离角是在DOE设计期间根据客户的系统要求确定的(请参见下图1)。分离角度非常精确(误差小于0.03mR)。光束的分离是为远场设计的,因此随着光束在DOE之后继续传播,它们变得更加清晰。通常,客户希望在特定距离获得聚焦良好的点。这可以通过在DOE之后添加一个简单的聚焦透镜轻松实现,该透镜的BFL(后焦距)确定了到多点焦平面的工作距离(WD)。参见下面的图2。衍射光束采样器允许高功率光束(零级)沿光轴传播,但会产生两个低能量的侧向光束。这两个样本光束位于主光束的左右两侧(-1和+1阶),其特征在于它们之间的分离角和客户要求的样本功率比是预定的。分离角是采样角的两倍(图1中的α)。 典型设置 图1:光束采样 DOE基本设置图2:带有聚焦透镜的光束采样器DOE图3:应用示例:具有PID控制器的激光稳定器 选择合适的镜头 使用工作距离WD,采样角度和D(从光轴到主光束的采样光束之间的距离[0阶])之间的以下数学关系,很容易为应用选择合适的镜头:D:从光轴到主光束的采样光束之间的距离[0阶]WD:工作距离α:采样角度(采样光束与主光束之间的角度[见图1])焦平面上的光斑大小由以下公式给出:L:工作距离λ:波长D:输入光束尺寸M2: 输入激光光束的M2值 设计注意事项和限制 在采样率为1%的配置中,主光束(0阶)的功率效率约为97.5%,而+1和-1阶的功率效率为1%。剩余功率在其他(寄生)阶次之间分配。最小输入光束大小由特定于当前应用的各种设计参数确定,并至少为 DOE中周期大小的 3倍。周期依次由以下公式给出:Λ= DOE的周期m =衍射级λ=波长α=采样角在“周期”非常大且激光束很小的情况下,用户可以使用与其波长和所需放大倍数匹配的扩束器加宽输入光束。 公差范围 通常,由于蚀刻中的标准公差,采样率可以在特定范围的期望比率附近变化,该特定范围根据波长而不同。 文章 使用衍射光束采样器实时检测激光加工过程中工件表面的焦点位置