使用DOE进行激光表面微造型

在该工作中，我们为激光表面微造型（LST）引入了一种简单且通用的光学装置设计，其功能优于直接激光干涉图案化（DLIP）。该方法只需要一个周期性衍射光学元件和一个聚焦透镜，即可为空间整形和幅度变化提供无限的可能。该概念基于衍射光栅的特殊行为，当照射光栅上的区域时，该区域的大小接近单个周期，而不是基本光栅研究中通常讨论的有效无限周期。通过将一维强度分布拟合到周期性平方余弦函数，即可对二维强度分布进行光栅周期和入射激光束尺寸的特定比率值的经验优化。我们研究了该工作机制的设计特征和公差灵敏度，并讨论了一些应用理念，包括光学设计的实例建议，以及该方法允许的一些定制图案化能力。在DLIP设置和建议的LST替代方法之间进行了详细比较。

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