最常见的分束器大也许是立方分束器。该类分束器由两块相连的棱镜构成立方体结构,可将输入光束分成两束,而两束光夹角为90°,且无光束偏移。此类分束器通常有 50/50 的反射/透射 (R/T) 比率(但不限于此比率),或还采用偏振或非偏振设计。
另一种常见的分束器是平板分束器,可将输入光束分成两束。该分束器包括一扇平面光学窗口,前表面镀有半反射膜,后表面则为增透膜,以防意外发生菲涅耳反射。透射光束和反射光束之间的夹角为90°,R/T 比率可通过调整表面镀层进行控制。这种情况下,透射的部分确实会有轻微光束偏移。
第三类分束器——衍射分束器,也称为“多点曝光(MS)”或“点状图案信号发生器”,应用与前两种分束器截然不同。不同于平板分束器,衍射分束器并不限于仅产生两条输出光束。衍射分束器可在所需配置中,将单束输入光束分成多束光束。衍射分束器是非偏振光学元件,需在特定的离散波长下操作(及其周围的窄带宽 +-1.5%)。