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平顶激光束

首页 » 平顶激光束
9月/14/2021 10:01 上午

节选/元标签:平顶激光束——它们是什么?在哪里使用?对于工业激光应用来说,它们是如何优于高斯光束的?衍射光束整形器在工业激光系统中实现平顶光束方面的优势。

什么是平顶激光束

平顶激光束是指在某一光束形状中强度剖面均匀的光束,在各边缘处急剧下降。与大多数激光束的高斯光束剖面不同,其高斯点的宽度(高于工艺阈值)与能量成正比,而平顶激光束剖面的特点是,能量与阈值之上的光点尺寸之间几乎没有任何依赖关系。这使得平顶光束剖面在许多工业激光应用中都是非常可取的。

Fig 1: A Gaussian beam vs. a Flat top beam

平顶光束剖面都用在哪些地方?

许多激光应用都使用平顶光束剖面来增强其性能,并且实现经处理材料的锐边。该等应用包括:

  • 激光剥离和脱粘——平板行业中使用的一种激光工艺,在激光脱粘中,需要将晶片与更厚的载体晶片分离。这一工艺通常通过使用强烈的紫外激光进行,其需要具有强度非常大、均匀性高以及经过锐处理的边缘。直线平顶和正方形/矩形平顶激光束整形器都可用于该工艺,这取决于其系统配置。
  • 金属互连划线——通常用于太阳能电池行业,使用激光平顶光束剖面来实现划线的锐边,从而确保互连或电极的一致性能。
  • 晶片检查——平顶光束剖面在晶片检查应用中是非常关键的,其中亮度一致能够实现可靠缺陷检测。通常,平顶线形光束会被用于该等应用中。
  • 精确激光焊接 – 通常当焊接感光材料如聚合物时,或者当使用激光焊接密封电池组时,一种被用来实现焊缝强度改善以及更好的接触角度的平顶激光束。

使用平顶激光束的优势

使用平顶光束具有以下优势:

  • 对于给定的工艺阈值能量,即使当脉冲能量增加时,平顶光点也将保持几乎相同的大小。这使得在不同材料/厚度使用相同激光机器工作时,能够具有较宽的加工自由度。
  • 激光能量是以最佳方式利用的——在工艺阈值下浪费的能量更少。
  • 热影响区(HAZ)减小了,因为获得相同工艺结果所需的能量更少。这导致处理区域形成尖锐边缘和脆边缘。

如何能够实现平顶激光束剖面?

在工业应用中实现平顶激光束的最佳方法之一就是利用一个衍射平顶光束整形器.这是一种特殊的衍射光学元件,因为一个给定的设计波长能形成一个自由相位剖面,在远场(通常为一个外透镜聚焦平面)使激光整形成为平顶光束。

可以对这一单一元件解决方案进行定制,以为一个给定单一模式输入光束的特定形状提供预先确定的光束直径。形状可以是圆形、正方形、矩形、线形或者更加复杂的分布如几个矩形。其他类型的平顶光束整形器是折射自由整形器,通常被用于要求较低的整形应用中,具有更高的发散角,以及平顶扩散器,与高度多模式光束一起使用。

衍射平顶光束整形器的优势

与折射平顶光束整形器相比,衍射平顶光束整形器的主要优势如下:

  • 衍射平顶整形器具有绝对的角精度,能够使形状较小的平顶降至1.5衍射限值,而由于生产过程的原因,折射平顶整形器针对整形角度通常具有一定的公差。
  • 与折射平顶相比,衍射稳定平顶元件明显具有更锐的形状边缘。
  • 衍射平顶激光束整形器通常都是薄窗,而折射平顶激光束整形器的窗厚至少为3mm,以精确处理到所需的自由形状。这使得衍射光束整形器更加适合超短脉冲激光整形,因为其时间离散是最小的。
  • 衍射平顶整形器可轻易地被集成到工业激光机器中使用的F-theta和扫描器设置,因为其尺寸小、其能够在低角度精确地整形(因此几乎没有任何修剪)并且其光功率几乎为零,从而使其能够在F-theta透镜的聚焦范围内完美运行。
图2:高斯光束和平顶光束在将处理区域的脉冲能量减半方面的效果比较。在平顶光束中,变化
图2:高斯光束和平顶光束在将处理区域的脉冲能量减半方面的效果比较。在平顶光束中,变化<10%,在高斯光束中,变化为50%。

Holo/Or拥有安装指南和使用说明,旨在促进衍射平顶使用。

TL;DR – 问答总结

问:什么是平顶激光束?

答:平顶激光束是指在给定r形状中强度剖面均匀的光束,其在该形状之外急剧下降。

问:为什么对于工业激光应用来说,平顶激光束比高斯剖面更好?

答:扁平激光束与常规高斯样剖面相比具有许多优势,包括其经处理区域并不会随着激光能量的增加而发生变化,并且其能够更好地利用激光能量,能够使用更少的能量脉冲来实现相同的效果,减小热影响区(HAZ)并且提高处理质量。

问:如何生成平顶光束剖面?

答:对于单一模式来说,相干激光整形器、衍射平顶光束整形器通常是首先解决方案。对于不太相干的激光,平顶扩散器是最佳解决方案。

问:衍射平顶光束整形器的优势有哪些?

答:衍射平顶整形器提供近乎绝对的角精度,从而能够形成衍射限制光斑大小的几倍。该等较小的形状通常用于精确激光材料处理过程中。而且,这些衍射整形器与该等设置中通常使用的标准 F-theta和扫描器设置是兼容的。

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